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ロードロック機構 蒸着装置 スパッタ装置 レーザーアブレーション装置 基板回転機構（水冷付き） 回転台 マニピュレータ 配管部品 製膜室 角チャンバー 抵抗加熱蒸着装置 球面チャンバー 基板（サンプル）加熱機構 洗浄液循環ユニット